全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:适用场景:用DIW/有机溶剂(可选)实现FOUP清洁,通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点:清洗对象:6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成:旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、有机溶剂清洗系统(可选)等机构组成。清洗能力:8只FOUP/小时(依配置的清洗腔真空腔数量而定)。干进干出。人工分离FOUP、POD,人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构,防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护,降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制,主轴震动值可监测。可预设多条Recipe,操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 芯梦半导体为您量身打造专业清洗解决方案!广东FOUP清洗机大概价格
FOUP清洗机是一种清洗foup的设备,用于清洗和处理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是半导体制造过程中存放晶圆的封闭式容器。FOUP清洗机通过自动化的清洗过程,去除FOUP内外的污染物,确保晶圆的高纯度和可靠性。FOUP清洗机具备多种功能和处理能力。它能够去除FOUP内的油脂、有机物、化学物质残留和水分。清洗机采用不同的清洗方法和工艺参数,如喷淋清洗、超声波清洗、高温处理等,以适应不同类型的污染物,并确保清洗效果。清洗机具有高效、快速的特点。它能够在短时间内完成清洗过程,提高生产效率。自动化控制系统确保清洗过程的精确执行,减少人为操作的误差。FOUP清洗机注重安全性和可靠性。它采用高质量的材料和密封结构,确保清洗过程中不会对FOUP造成损害。安全控制系统和报警装置保障操作人员的安全。清洗机还配备直观的用户界面和操作控制面板,使操作人员能够轻松控制和监测清洗过程。清洗机还具备数据记录和追溯功能,方便对清洗过程进行监控和分析。它可记录清洗参数、时间和结果等信息,为质量控制江苏晶圆盒清洗机出厂价芯梦设备操作简便,维护方便,降低你的生产成本!
江苏芯梦/JSXM,成立于2019年8月,位于苏州吴中经济开发区,致力于提供衬底的制造、集成电路制造、先进封装及大硅片制造领域湿法制造环节工艺设备的综合解决方案。
江苏芯梦高度重视技术创新和知识产权保护,并获得了国家高新技术企业、江苏省双创人才企业、江苏省潜在独角曾企业、江苏省民营科技企业、江苏省三星级上云企业、姑苏创业人才企业、苏州市企业工程技术研究中心、苏州市瞪羚计划入库企业、东吴科技人才企业等多项荣誉资质。
功能优势:
1.符合SEMI行业标准,兼容自动传输系统(AMHS);
2.专项研发FOUP-水气清洁管路与腔体清洁环境,Class10级微型洁净环境空间;
3.Robot动态曲线搬运,防止交叉污染,FOUP分体清洁,清洁控制系统;
4.设备与腔体工艺化无菌处理,防止细菌滋生;
5.专项研发双流体旋转喷射清洗方式,实现超微精密清洗,节能设计;
6.高效红外干燥技术,AMC控制技术;
7.以高质量,高产量、节能为理念,占地面积设计.
软件功能:
1.通讯标准符合SEMISECS/GEM300协议、E84OHT等通讯;
2.整机设计符合SEMIS2、S8、F47设计标准(国际莱茵TUVSEMI证书).
3.工控机PC与PLC实现设备安全闭环控制,PC负责Host通讯与Robot调度,PLC负责各单元功能控制与IO处理.
4.友好的人机界面. 购买晶圆盒清洗机推荐您选择江苏芯梦半导体设备有限公司!
优点
装载晶圆直径至200mm的花篮和片盒一或不同晶圆尺寸的花和片盒,同时可装载晶圆直径至300mm的前端开口片盒(Foup片盒)三种设备尺寸满足客户特殊需求
CleanStepl-用于4组花篮和片盒加载和清洗能力:每次4组花和片盒清洗产能:每小时12组花篮和片盒、>、CleanStepll-用于8组花篮和片盒加载和清洗能力:每次8组花篮和片盒清洗产能:每小时24组花篮和片盒
CleanStepIl-用于6组前端开口片盒(Foup)加载和清洗能力:每次6组前端开口片盒(Fup片盒)清洗产能:每小时18组前端开门片盒(Foup片盒)
适用于晶圆直径至200mm的花篮和片盒的标准旋转笼(CleanstepI/II)
适用于所有片盒一次清洗过程
或是同时4组花篮和片盒,或是12个花跨(CleanstepI/II)
简单快捷的对不同尺寸的片盒和花篮进行切换
旋转笼内的可旋转载体方便加载或卸载花篮和片盒
通过控制系统对自锁装置的检测,达到安全加载片盒和花篮,、 选择芯梦设备,让你的生产更加智能化、自动化!中国澳门全自动FOUP清洗机商家
芯梦的设备节能,符合现代的生产理念,助你降低成本!广东FOUP清洗机大概价格
从FOUP清洗机市场规模发展现状来看,2022年中国FOUP清洗机市场规模达亿元(人民币)。针对全球FOUP清洗机市场,贝哲斯咨询预测,2022-2028年FOUP清洗机市场规模将从亿元增长至亿元,CAGR大约为%。报告通过分析涵盖市场驱动因素、障碍因素、机遇、威胁以及市场各细分领域发展情况等各方面市场信息,旨在提供深入的FOUP清洗机市场评估与策略建议。就产品类型来看,FOUP清洗机行业可细分为全自动FOUP清洁机,手动FOUP清洁机。其中是收入市场,2022年市场规模达亿元,市场份额达%,预计到2028年市场份额将会达到%。从终端应用来看,FOUP清洗机可应用于IDM厂商,Foundry铸造厂等领域。目前领域需求量,2022年占据%的市场份额。预计领域在未来几年内需求会逐步上升。广东FOUP清洗机大概价格
芯梦拥有近12000平米的研发生产基地,包括超过3000平米的千级洁净室和万级装配车间,配备有精密的研发检测仪器设备。芯梦的创始团队成员均为半导体装备领域从业数十年的专业人才,目前芯梦已经建立了一支多学科交叉、实力雄厚的技术研发团队,目前公司拥有员工总数290余人,其中技术研发人员90余人,售后服务人员近40人。我们高度重视知识产权保护,主营产品已获得数十项授权专利,包括近20件授权发明专利,并通过了知识产权管理体系认证。